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北京科技大学教授来我院激光所进行学术交流

312日,北京科技大学唐伟忠教授、李易峰博士来我院激光所就微波等离子体化学气相沉积金刚石技术进行学术交流。

唐伟忠教授认为,前期915MHz微波设备的设计工作是基本成功的,应当继续进行生长实验,进一步验证设备的稳定性,摸清工艺参数范围,为后续工艺实验奠定基础。指出2.45GHz微波设备存在的问题,并就如何有效利用现有微波设备使用时应注意的一些细节给出了相应建议。同时,介绍了国内外微波CVD金刚石技术发展现状和产品需求情况,结合与国外产品存在的差距,分析了我院激光所下一步工作重点。

激光所所长孙振路及有关科研人员参与了此次学术交流。

 (院激光所供稿)

发布:kxyb  2015年03月14日